21世紀(jì)經(jīng)濟(jì)報(bào)道記者張賽男 實(shí)習(xí)生徐蕊 上海報(bào)道

絲毫不受減持半導(dǎo)體龍頭的影響，國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司(簡(jiǎn)稱“大基金”)二期馬不停蹄地再次布局半導(dǎo)體領(lǐng)域。

10月18日晚間，至純科技（603690.SH）公告，公司控股子公司至微半導(dǎo)體 ( 上海 ) 有限公司 ( 簡(jiǎn)稱“至微科技 ” ) 擬通過(guò)增資擴(kuò)股引入戰(zhàn)略投資者并進(jìn)行部分股權(quán)轉(zhuǎn)讓。

根據(jù)公告，本次新引入的戰(zhàn)略投資者共有8家，合計(jì)向至微科技增資4.2億元。其中就包括大基金二期，其余增資方也均來(lái)頭不小。

10月19日，至純科技方面回應(yīng)媒體稱，本次引入戰(zhàn)投主要是以擴(kuò)大濕法設(shè)備生產(chǎn)為主，目前的計(jì)劃是5年200臺(tái)。

至純科技有何過(guò)人之處，引來(lái)大基金二期的青睞？21世紀(jì)經(jīng)濟(jì)報(bào)道記者此前報(bào)道指出，大基金雖然時(shí)有減持計(jì)劃流出，但并未整體退出半導(dǎo)體領(lǐng)域，而是做了結(jié)構(gòu)性的調(diào)整，尤其是轉(zhuǎn)移到上游急缺資金卡脖子的制造和代工、設(shè)備等領(lǐng)域。那么，大基金目前在后者的布局如何？ 

至純科技是何方神圣？

根據(jù)公告，至微科技本次擬引入投資方包括：遠(yuǎn)致星火、大基金二期、混改基金、中芯聚源、裝備材料基金、芯鑫鼎橡、平潭溥博芯誠(chéng)股權(quán)投資合伙企業(yè)（有限合伙）、上海芯晟至遠(yuǎn)企業(yè)管理合伙企業(yè)（有限合伙），合計(jì)向至微科技增資4.2 億元，其中7644萬(wàn)元計(jì)入注冊(cè)資本，其余34356萬(wàn)元計(jì)入資本公積。

本次增資前，至微科技注冊(cè)資本為4.55億元，估值25億元（增值率485.36%），對(duì)應(yīng)5.4945元/注冊(cè)資本。增資后，至純科技持有至微科技的股份由99.34%降至77.11%；大基金二期、混改基金、中芯聚源、裝備材料基金、芯鑫鼎橡分別持有3.42%、3.42%、1.71%、1.03%、1.03%的股權(quán)。

按上述比例測(cè)算，大基金二期、混改基金、中芯聚源、裝備材料基金的投資金額分別為1億元、1億元、5000萬(wàn)元、3000萬(wàn)元。

實(shí)際上，除了大基金二期，其余增資方也背景深厚。

其中，混改基金（中國(guó)國(guó)有企業(yè)混合所有制改革基金）是經(jīng)國(guó)務(wù)院批準(zhǔn)設(shè)立的“國(guó)家級(jí)”基金，基金總規(guī)模2000億元，首期募集資金就達(dá)到707億元。中芯聚源（中小企業(yè)發(fā)展基金（紹興）股權(quán)投資合伙企業(yè)）的背后則有國(guó)資和中芯國(guó)際。裝備材料基金（上海半導(dǎo)體裝備材料產(chǎn)業(yè)投資基金合伙企業(yè)）的股東也有國(guó)家大基金的身影，重點(diǎn)圍繞集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)開展投資。

至純科技為何能引來(lái)這么多明星資本的青睞？從其主營(yíng)業(yè)務(wù)來(lái)看，正是國(guó)家大基金二期重點(diǎn)投資的半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。

公開資料顯示，至純科技主營(yíng)業(yè)務(wù)包括高純工藝系統(tǒng)、半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備、光傳感應(yīng)用及相關(guān)光學(xué)元器件，而旗下至微科技的主業(yè)就是半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備。

公司稱，至微科技成立以來(lái)，累計(jì)已獲得來(lái)自各大集成電路制造領(lǐng)先企業(yè)的濕法設(shè)備訂單超過(guò)160臺(tái)，成為國(guó)內(nèi)濕法設(shè)備的主要供應(yīng)商之一。此次引入戰(zhàn)投，是為進(jìn)一步加快實(shí)現(xiàn)至微科技成為國(guó)內(nèi)濕法設(shè)備領(lǐng)頭羊的戰(zhàn)略目標(biāo)，提高產(chǎn)業(yè)資源整合能力。

上半年公開數(shù)據(jù)顯示，至純科技的半導(dǎo)體設(shè)備在快速增長(zhǎng)。上半年公司新增訂單中半導(dǎo)體板塊新增訂單14.2 億元，其中濕法設(shè)備新增訂單4.3億元，達(dá)到上一年度全年濕法設(shè)備訂單的 85%，其中單片設(shè)備新增訂單2億元。

安信證券電子行業(yè)分析師馬良向記者指出，“此次戰(zhàn)投股東名單涵蓋了國(guó)內(nèi)頂級(jí)的半導(dǎo)體投資基金，表明了市場(chǎng)對(duì)于公司未來(lái)發(fā)展前景的看好。通過(guò)此次增資，公司不僅增強(qiáng)了資金實(shí)力，還有利于公司與國(guó)內(nèi)頭部半導(dǎo)體公司加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)合作，公司半導(dǎo)體清洗設(shè)備發(fā)展有望加速?！?/p>

加速布局半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域

目前半導(dǎo)體設(shè)備本土生產(chǎn)上升到國(guó)家戰(zhàn)略層面，半導(dǎo)體設(shè)備也被公認(rèn)為最“卡脖子”的環(huán)節(jié)之一。

就工藝而言，清洗是貫穿半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的重要工藝環(huán)節(jié)，每一代制程升級(jí)將帶來(lái)平均15%的清洗步驟增長(zhǎng)，重要性凸顯。據(jù)臺(tái)灣工研院數(shù)據(jù)，2020年半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場(chǎng)空間49億美元，2025年將達(dá)67億美元。當(dāng)前全球清洗設(shè)備市場(chǎng)由日韓巨頭壟斷，2018年，DNS、TEL、SEMES、Lam四家廠商占據(jù)了90%以上的市場(chǎng)份額。

根據(jù)信達(dá)證券的研報(bào)，國(guó)內(nèi)有至純、北方華創(chuàng)、盛美、芯源微四家廠商重點(diǎn)布局，當(dāng)前濕法清洗設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率約達(dá)20%。

公告顯示，至純科技已具備生產(chǎn)8-12寸高階單晶圓濕法清洗設(shè)備和槽式濕法清洗設(shè)備的相關(guān)技術(shù)，目前已可以提供28nm節(jié)點(diǎn)的全部濕法工藝設(shè)備，首批次單片濕法設(shè)備已交付并順利通過(guò)驗(yàn)證。

作為半導(dǎo)體清洗設(shè)備的重點(diǎn)廠商之一，至純科技受到頂級(jí)產(chǎn)業(yè)基金的青睞也就不足為奇。

21世紀(jì)經(jīng)濟(jì)報(bào)道記者梳理發(fā)現(xiàn)，就目前大基金二期的布局來(lái)看，已經(jīng)重點(diǎn)向設(shè)備領(lǐng)域傾斜。

據(jù)啟信寶數(shù)據(jù)，除了至純科技，目前大基金二期公開投資項(xiàng)目已有12個(gè)，包括：杭州長(zhǎng)川智能制造公司、潤(rùn)西微電子（重慶）有限公司、中芯南方集成電路制造有限公司、思特威（上海）電子科技股份有限公司、珠海艾派克微電子有限公司、紫光展銳（上海）科技有限公司等。其中有4家與半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)，4家與晶圓制造相關(guān)。

申港證券分析師曲一平此前向記者指出，大基金二期的投資同樣覆蓋了芯片設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)、材料以及設(shè)備等產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)，但可看到目前仍較多投向了制造環(huán)節(jié)，更聚焦設(shè)備、材料領(lǐng)域，加大投資。

目前，大基金二期對(duì)上述總投資已近300億元，背后涉及的上市公司有長(zhǎng)川科技、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)、中芯國(guó)際、納斯達(dá)、華潤(rùn)微等。